□나노종합Fab.센터 구축사업□ 공모기간  변경 안내

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과학기술부는 지난 2002. 2. 1(금)「나노종합Fab.센터구축사업」의 유치기관 선정에 대하여 공고한 바 있습니다. 이와관련 사업신청서 제출기간을 아래와 같이 연기하오니 신청에 착오 없으시길 바랍니다.

2002년 2월 18일

과학기술부장관  채영복

□ 변경내용

5. 신청자격 및 방법

나. 제출서류 및 방법

○ 제출기간 : 3주 연기

현 행	변 경
2002. 3. 4(월)∼8(금) 18:00까지	2002. 3. 4(월)∼3.29(금) 18:00까지

※ 연기사유

- 대형 국책사업추진의 내실화 도모

- Fab.시설 개념설계 및 방대한 사업계획서 작성 소요기간 반영

□ 기타 공고내용은 변경없음.

붙 임 : 「나노종합Fab.센터구축사업」유치기관 공고내용 1부.

과학기술부 공고 제 2002 - 14호

『나노종합Fab.센터구축사업』유치기관 공모

정부는 □나노기술종합발전계획(2001.7)에 따라 나노기술 선진 5대국 수준의 기술경쟁력을 확보하기 위한 핵심 연구인프라로서「나노종합Fab.센터」를 구축·운영하고자  이를 유치할 사업유치기관(주관기관)을 다음과 같이 공모하오니 신청하여 주시기 바랍니다.

2002년 2월 1일

과학기술부장관 채영복

1. 사업개요

□ 사업기간 : 2002∼2010(3단계 9년간)

- 1단계(2002∼2004)에 나노종합Fab.센터 구축 완료 및 운영 착수

□ 1단계 사업내용

- 나노종합Fab.센터 부지 확보 및 건물 신축

- 부대시설/청정실(Clean Room) 설치 및 나노기술 연구장비 구매□설치

- 전문인력 확보 등 나노종합Fab.센터 운영체제 구축

□ 시설규모 : 1,500평

□ Fab.센터의 연도별 세부지원실 설치순서

- 2002년 : 나노소자공정실(400평 규모), 특성평가실(200평 규모)

- 2003년 : 나노소재공정실(200평 규모), 물리/원천기술실(200평 규모)

- 2004년 : 생물/화학공정실(200평 규모), 기계공작실(100평 규모) 등

□ Fab.센터 기능 : 산□학□연에 대한 연구장비 이용 서비스, 전문인력 양성, 나노벤처 창업 및 연구성과 실용화 지원 등

2. 사업비 및 재원조달

□ 총 사업비 : 1,970억원(정부 1,180억원, 민간 790억원)

- 1단계 : 1,184억원(정부 787억원, 민간 397억원)

- 2002년 : 354억원(정부 250억원, 민간 104억원)

※ 정부부문의 사업비는 특정연구개발사업의 정부출연금으로 충당하며, 민간부문의 사업비는 사업유치기관과 참여□협력기관이 부담하는 현물, 현금 등을 총괄 포함함.

□ 소요재원 조달

- 정부출연금 : 연구장비 구입 및 Fab.센터 운영비 일부에 한정.

- 민간부담분 : 부지, 건물, 청정실(Clean room) 및 부대시설, 장비, 운영비 등

※ 기타 항목별 사업예산, 장비 확보목록 및 주요시설의 배치도 등 세부 사업내용은 제안요구서 및 인터넷 홈페이지의「사업안내서」를 참조할 수 있음.

3. 시설 및 사업비에 관한 조건

□ Fab.시설규모, 세부Fab.지원실 설치순서, 총사업비 등 세부적인 내용은 사업유치기관의 상세설계 결과와 부담조건□규모 등에 따라 다소 조정될 수 있음.

4. 사업유치기관 선정절차 및 방법

가. 기본방향

□ 신청기관을 대상으로 시설의 입지조건, 사업계획 및 사업능력 등에 대한 다단계 평가를 통하여 국내 최고수준의 □나노종합Fab.센터□를 조기에 구축할 수 있는 최적의 사업유치기관을 선정

□ 사업주관기관 선정의 객관성·공정성 및 신뢰성 확보를 위하여 관련전문가등으로「전담평가단」을 구성·운영

나. 사업유치기관 선정평가 고려사항

□ 시설입지조건 : 시설 활용성 , 접근 용이성, 사용 편의성 및 시설확장성 등

□ 사업추진계획 : 계획의 타당성, 재원조달의 적정성, 센터운영의 독립성, 시설의 공동운영계획(운영·유지, 대외 서비스, 자립화계획 등)

□ 사업추진능력 : 사업수행능력/전문성, 센터의 운영철학 및 발전비전, 사업추진전략 및 사업관리시스템 등

다. 사업주관기관 선정절차

□ 1차. 2차 평가결과 복수 후보기관에 대해 현장평가 실시

□ 평가결과와 □나노기술추진위원회□ 등을 통해 최종 1개 기관 선정

1차 평가	□	2차 평가	□	3차 평가
□신청서 등 서류검토 □신청기관별 질문서 작성 등 예비평가		□발표 및 패널평가 □후보기관 선정		□후보기관별 현장평가

※ 2차 평가결과 및 현장평가절차는 선정된 후보기관에 개별통보

5. 신청자격 및 방법

가. 신청자격

□ 기술개발촉진법 제7조제1항 각 호에 해당하는 기관

나. 제출서류 및 방법

□ 제출서류

- 사업신청서, 사업계획서, 재원조달 계획서, 기타 시설입지조건 및 사업추진능력에 대한 평가자료(각 20부)

※ 관련서식 등은「사업안내서」를 참조하거나 한국과학기술기획평가원 홈페이지(http: //www.kistep.re.kr)에서 다운로드 받아 사용

□ 제출기간 : 2002. 3. 4(월) ∼ 2002. 3.29(금) 18:00 까지

□ 제출방법 : 방문, 우편(마감일까지 도착분에 한함) 또는 전자우편으로 제출

6. 접수처

□ 서울시 서초구 양재동 275 동원산업빌딩 9층 (우편번호 : 137-130)

한국과학기술기획평가원(KISTEP) 소재화학전문위원실

※ Tel : 02) 589-2221, 2223,  Fax : 02) 589-2260

E-mail : nanofab@kistep.re.kr

7. 문의처

□ 경기도 과천시 중앙동 1번지 정부과천청사

과학기술부 기계전자기술과

Tel : 02) 503-7635, 504-2364, Fax : 02) 504-6730

□ 서울시 서초구 양재동 275 동원산업빌딩 9층

한국과학기술기획평가원(KISTEP) 소재화학전문위원실

Tel : 02) 589-2221, 2223, Fax : 02) 589-2260

8. 기 타

□ 사업설명회 개최

- 일시 : 2002. 2. 15(금), 15:00

- 장소 : 한국과학기술기획평가원 국제회의실(9층)

※ 사정에 따라 설명회 일정이 변경될 경우 인터넷에 공지

□ 사업안내서, 서류양식 등은 인터넷 홈페이지(http://www.most.go.kr 또는  http://www.kistep.re.kr)에서 열람 가능

□ 사업유치기관 선정결과는 인터넷 홈페이지 게시 및 개별 통지 예정

나노종합Fab.센터구축사업 제안요구서(RFP)

사업명	나노종합Fab.센터구축사업 (특정연구개발사업 중 연구기반구축사업)
사업목표	□2005년까지 산□학□연이 공동으로 활용할 수 있는 나노기술 관련 핵심연구장비를 갖춘 종합Fab.시설 구축 □나노기술관련 장비전문인력 양성을 위한 교육훈련 프로그램 개발 □나노Fab.센터 관련 국내외 협력기반 구축
Fab. 센터의 기능	□나노기술 관련 연구장비 이용 서비스 제공 - 나노소자 설계□제작공정, 나노관련 특성평가, 시제품 제작 등 □나노종합Fab.시설의 운영□유지□관리 - 나노연구장비 개□보수, 유틸리티 관리 및 시설운영□유지 등 □나노기술관련 전문인력 양성 - 나노장비 전문운용인력 양성 및 산업체 인력양성 지원 □국가 □나노연구시설이용자협의체□ 구성□운영 - 나노연구장비/시설의 공동활용, 기술정보 교류 촉진 등 □나노기술이전 서비스 제공 - 나노기술 연구성과의 확산, 벤처기업 창업 및 산업화 지원 등 □나노기술관련 국내외 협력기반 구축
사업내용 및 범 위	<Ⅰ단계> (2002∼2004) 나노종합Fab.센터 구축 완료 □나노종합Fab.센터 조직 및 운영체계 구축 □1,500평 규모의 나노종합Fab.시설 건축 - class1∼1000급 Clean-room을 갖춘 나노소자공정실(400평) - 나노소자/소재 특성평가지원실(200평) - 나노물리□원천분야지원실(200평) - 나노소재분야지원실(200평) - 생물□화학분야지원실(200평) - 기계공작실(100평) 등 □나노종합Fab.시설에 설치될 핵심연구장비 구축 - 최소 선폭 10□의 나노소자 단위공정(6□ wafer 기준)이 가능한 나노소자공정지원실 장비 구축 - 나노소자/소재의 특성을 실시간, 실공간적으로 평가할 수 있는 나노소자/소재 특성평가지원실 장비 구축

사업내용 및 범 위	- 원자/분자 조작에 의한 나노구조체 형성 및 이를 이용한 기본소자제작을 지원할 물리□원천분야지원실 장비 구축 - 나노입자, 나노기공, 나노박막 등 나노소재개발연구를 지원할 나노소재분야지원실 장비 구축 - 생체소자, 자기조립분자소자, 생체센서 등의 연구개발을 지원할 나노 생물/화학분야지원실 장비구축 - 나노종합Fab. 장비운영□보수를 지원할 기계공작실 장비 구축 등 □나노종합Fab.센터 이용체계구축 - 나노Fab.시설 이용자협의회 구성 - 산학연 연구개발주체와의 연계 및 정보공유를 위한 네트워크 구축 □1차년도(2002년)□ □나노종합Fab.센터 조직 및 운영체계 구축 □나노종합Fab.시설 설계 및 건축 착공 □1차년도 구입장비 상세 Spec. 확정 및 구매발주 - 나노소자공정실 및 특성평가지원실 장비 구매발주 □나노종합Fab.센터 이용체계 구축 - 이용자협의회, 전산망 및 네트워크 구축 - 나노종합Fab.센터 이용절차 확정 □나노Fab.장비 운용전문인력 교육프로그램 개발 □나노Fab.센터 관련 국내외 협력기반 구축 - 국내외 대상기관별 보유시설, 장비 및 활용가능성 등 현황조사 - 장비전문교육, 시설 및 장비 공동활용을 위한 MOU 체결 <Ⅱ단계> (2005∼2007) 나노종합Fab.센터 이용 활성화 □나노종합Fab.시설의 추가장비 구매□확보 □나노종합Fab.센터 이용서비스 본격 착수 및 대외지원 활성화 □나노종합Fab. 관련 교육훈련 활성화 □나노종합Fab.시설 이용자 협의회 활성화 □국내외 협력활동 활성화 <Ⅲ단계> (2008∼2010) 나노종합Fab.센터 자립화 기반 구축 □나노종합Fab.시설의 추가장비 구매·확보 □나노종합Fab.센터 인근에 관련연구실, 벤처기업 등 입주환경 조성 □나노기술이전서비스 제공 및 나노산업화 지원체계 구축 □나노종합Fab.센터의 자립화 기틀 마련

사 업 추진방법	□나노종합Fab.센터의 독립운영이 가능하도록 인사, 조직, 회계 및 관리 등을 기존기관에서 분리하여 운영함. □기존기관의 예속을 방지하고 운영전반에 대하여 관계 전문가의 의견이 반영될 수 있는 운영체제 확립(운영위원회, 이용자협의회 등 구성□운영) □9년 후 나노종합Fab.센터 운영의 자립화를 원칙으로 함. □대학, 연구소, 기업 및 지자체간 컨소시움을 구성하여 신청할 수 있으나 지자체는 사업주관기관이 될 수 없음.
사업비 및 재원조달	□총 사업비 : 1,970억원(정부 1,180억원, 민간 790억원) - 1단계 : 1,184억원(정부 787억원, 민간 397억원) - 2002년 : 354억원(정부 250억원, 민간 104억원) ※ 정부부문의 사업비는 특정연구개발사업의 정부출연금으로 충당하며, 민간부문의 사업비는 사업유치기관과 참여□협력기관이 부담하고 현금, 현물 등을 총괄 포함함. □소요재원 조달 - 정부출연금 : 연구장비 구입 및 Fab.센터 운영비 일부에 한정 - 민간부담금 : 부지, 건물, 청정실(Clean room) 및 부대시설, 장비, 운영비 등 ※ 민간부담금 : Ⅰ단계 33%, Ⅱ단계 50%, Ⅲ단계 50% (나노종합Fab.센터구축사업비로 책정된 정부예산(일반회계)이외의 모든 재원을 포함함)
기 타	□Fab.시설규모, 세부Fab.지원실 설치순서, 총사업비 등 세부적인 내용은 사업유치기관의 상세설계 결과와 부담조건□규모 등에 따라 다소 조정될 수 있음. □사업계획서는 상기 제안요구서(RFP)에 따라 1단계 중심으로 작성하되, 나노종합Fab센터의 중□장기 발전계획을 포함하여 작성