국내외 과학기술 정책에 대한 간략한 정보
단신동향
국내단신
EUV 장비 도입 절차 간소화로 반도체 초격차 지원 원문보기 1
- 국가 한국
- 생성기관 산업통상부
- 주제분류 핵심R&D분야
- 원문발표일 2026-06-02
- 등록일 2026-06-08
- 권호 312
○ 산업통상부가 반도체 핵심 공정 EUV 장비를 ‘특정설비’로 전환하는 「고압가스 안전관리법 시행령」 개정안을 의결하며 도입 기간 단축을 통한 초격차 유지 지원
- 그간 EUV 장비가 내부 고압가스 설비로 인해 ‘고압가스 제조시설’로 분류돼 설치 때마다 기술검토·검사를 거치며 도입 지연과 기업 부담 유발
- ‘특정설비’로 전환하되 3년 주기 공장심사 등으로 동등한 안전성을 확보하는 방식을 적용해 검사 기간을 34일에서 9일로 단축하고 검사 비용도 장비당 약 5억 원 절감 전망
- 개정안은 차주 중 공포 후 즉시 시행될 예정이며, 이에 따라 삼성전자·SK하이닉스 등이 첨단 제조장비를 적기에 도입·가동할 수 있게 될 전망
- 그간 EUV 장비가 내부 고압가스 설비로 인해 ‘고압가스 제조시설’로 분류돼 설치 때마다 기술검토·검사를 거치며 도입 지연과 기업 부담 유발
- ‘특정설비’로 전환하되 3년 주기 공장심사 등으로 동등한 안전성을 확보하는 방식을 적용해 검사 기간을 34일에서 9일로 단축하고 검사 비용도 장비당 약 5억 원 절감 전망
- 개정안은 차주 중 공포 후 즉시 시행될 예정이며, 이에 따라 삼성전자·SK하이닉스 등이 첨단 제조장비를 적기에 도입·가동할 수 있게 될 전망
