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주요동향
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미국, 반도체 관련 계측 및 표준 기법 발전을 위한 과제 제시 원문보기 1
- 국가 미국
- 생성기관 미국 국립표준기술연구소
- 주제분류 기술혁신지원
- 원문발표일 2022-09-01
- 등록일 2022-09-30
- 권호 223
□ 국립표준기술연구소(NIST)는 반도체 제조 경쟁력 강화에 필요한 계측 및 표준 기법 발전을 위한 7가지 도전 과제(grand challenge)를 제시한 보고서* 발표(’22.9.)
* Strategic Opportunities for U.S. Semiconductor Manufacturing : Facilitating U.S. Leadership and Competitiveness through Advancements in Measurements and Standards
ㅇ 2021년 국방수권법(NDAA)에 포함된 반도체 법(CHIPS Act)은 미국 내 반도체 산업을 위해 국립표준기술연구소(NIST)에 계측학 관련 R&D 수행 권한 제공
- 국립표준기술연구소는 관련 R&D 추진 방향 설정을 위해 워크숍*을 개최하여 기업, 학계, 정부 전문가 등 800여 명의 의견을 바탕으로 본 보고서를 작성
* Semiconductor Metrology Workshops(’22.4.)
ㅇ 계측학(metrology)은 반도체 기술 개발의 전(全) 단계에 필요하며, 반도체 기기가 소형화되고 복잡해지면서 제품의 품질을 측정, 모니터링, 예측, 보장하는 역량이 중요해지고 있음
- 다양한 계측 기법은 반도체 제조 공정의 절반 이상에서 활용되고 있으며, 제조 장비의 최대 30%가 측정이나 결함 파악을 위한 계측 도구로 구성
ㅇ 본 보고서는 미국 반도체 산업의 측정, 표준화 등과 관련한 역량을 강화하기 위해 극복해야 할 7가지 도전 과제를 다음과 같이 제시
